Grazing Incidence X-ray Diffraction

برای بدست آوردن اطلاعات دقیق در رابطه با پوشش های لایه نازک از تست Grazing استفاده می شود .

آنالیز XRD نرمال برای لایه های nm ۱۰۰۰-۱ ، پیک هایی با شدت بالا از زیر لایه و پیک های ضعیفی از لایه در اختیار ما قرار می دهد. برای رفع این مشکل از تست Grazing استفاده می گردد . در این روش اشعه ایکس با زاویه ای زیر ۱ درجه به نمونه برخورد می کند. این زاویه در طول آنالیز ثابت خواهد ماند و تنها دتکتور دستگاه عملیات اسکن را انجام میدهد.با توجه به زاویه کم برخورد اشعه به نمونه، عمق نفوذ اشعه در نمونه کمتر خواهد شد و اطلاعات مفیدی از لایه مورد نظر را در اختیار قرار خواهد داد.