دستگاه پروفایلومتر لیزری سطح (دقت 2 میکرومتر) 

دستگاه پروفایلومتر لیزری با استفاده از تکنولوژی لیزر مثلثی به بررسی رویه اجسام می پردازد. بـه این صـورت کـه با ترکیب لیزر، سیستم اپتیکی و سنـسور CCD فاصله سنسـور تا اجسام مشخص می شود.

نرم افزار دستگاه به گونه ای طراحی شده است که برداشت داده ها با توجه به گام انتخابی انـجام می شود. گام های بین دو برداشت داده می تواند از 3 میــکرومتر تا چند میـلیمتر در هر جهت از دو محـور حرکتی انتخـاب شود. هر چه گـام حرکتی کمتـر باشد جزئیات کاملتـر می شود امـا زمان بیشتری برای تکمیل روبـــش مورد نیاز است.

نـمونه مورد بررسـی بر روی استیج در یک راستـا حرکت می کند و سنسور نیز بر روی استیـج دیـگر به صورت عمود بر نمونه حرکت می نماید که ترکیب این دو حرکت می تواند سطح نمونه را روبش کند. با توجه به محدودیت مکانیکی دقت روبش یک میــکرومتـر است.

مشخصات فنی

• قابلیت اندازه گیری زبری سطوح با دقت 2 میکرومتر اختلاف ارتفاع، به صورت غیر تماسی
• بیشینه اختلاف ارتفاع قابل اندازه گیری 5 میلیمتر
• جابجاگر نمونه در دو محور با دقت 30 میکرومتر
• بیشینه جابه جای نمونه تا 4 سانتی متر در هر محور
• نرم افزار نمایش زبری سطحی (یک بعدی)
• سرعت اندازه گیری بالا(1000 اندازه گیری بر ثانیه)

قابلیت های دستگاه

• زبری سنجی سطوح
• ضخامت سنجی لایه های میکرونی
• آشکارسازی خوردگی سطوح
• تکرار پذیری تست های نمونه گیری
• غیر تماسی بودن سنسور
• سرعت بالا در نمونه گیری

دستگاه رویه نگار اپتیکی سطح (دقت 1 نانومتر)

این دستگاه با استفاده از تکنولوژی تداخل سنجی نور سفید به بررسی رویه اجسام می پردازد. به این صورت که با ترکیب منبع نور سفید، سیستم اپتیکی و سنسور CCD فاصله شیئی تا اجسام مشخص می شود. بازه ی اندازه گیری این روش از مرتبه ی نانومتر تا میلیمتر است.

دقت اندازه گیری در این روش وابسته به همدوسی منبع نور، دقت و تکرارپذیری استیج عمودی، مقاومت در برابر لرزش، بازتاب پذیری و زبری سطح نمونه، و خطای سنسور CCD است. با در نظر گرفتن تمامی این فاکتورها دستگاه MOA-ZA دارای دقت 5 نانومتر است.

نمونه مورد بررسی بر روی استیج در راستای عمودی حرکت می نماید و سنسور پس از هر حرکت یک تصویر از نمونه ثبت می کند. پس از دریافت داده ها این اطلاعات توسط نرم افزار gwyddion نمایش داده می شوند. که در این نرم افزار با توجه به نیاز می توان به  بررسی زبری، ارتفاع پوشش، شکل جسم و … پرداخت.

مشخصات فنی

• پنجره اسکن: 1*1 میلیمتر
• دقت اندازه گیری: 5 نانومتر در راستای z و 1,2 میکرومتر yو x
• دامنه z: 40 نانومتر الی 8 میلی متر

قابلیت های دستگاه

• اندازه گیری توپوگرافی سطح با دقت نانومتر
• سایز پنجره اسکن از 1 میلیمتر در 1.2 میلیمتر
• توانایی اندازه گیری اختلاف ارتفاع 10 میلیمتر
• توانایی اندازه گیری ضخامت، زبری، پروفایل و …
• امکان نمایش در نرم افزار های پروفایلومتری
• سرعت اندازه گیری بالا