دستگاه تبخیر حرارتی

در روش تبخیر حرارتی، یک ماده به حالت جامد به عنوان منبع اولیه پوشش، مورد استفاده قرار می‎گیرد. این ماده توسط یک منبع حرارتی، تبخبر شده و ذرات تبخیر شده در خط مستقیم به سمت زیرلایه حرکت کرده و بر روی آن رسوب می‎کنند.

دما ده‎ی ‎اولیه، منبع بخار و زیرلایه در یک محفظه خلأ قرار می‎گیرند. محفظه تا فشاری معمولاً بین 5-10 تا 8-10 تور تخلیه می‎شود. سیستم تبخیر حرارتی موجود در آزمایشگاه تخصصی نانو از یک فیلامان یا صفحه ‎ی گرم ‎شده از روش مقاومتی به عنوان منبع حرارتی برای تبخیر ماده اولیه استفاده می‌گردد.